★ 電子氣體:惰性氣體、硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、氟碳氣體、含硼、磷、砷等原子氣體;
★高純氯氣、氨氣、氖氣、氪氣、三氯氫硅、四氟化碳、六氟化硫、鍺烷、高純鍺烷、氯化氫、氧化亞氮、氧硫化碳(COS羰基硫)、乙硼烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、硅烷、二氯二氫硅、高純三氯化硼、高純溴化氫、高純乙硅烷、八氟環丁烷、甲烷、一氧化二氮、電子級正硅酸乙酯、電子級氧化亞氮、六氯乙硅烷和四氯化硅等。
★半導體電子特氣:超純氨、高純氧化亞氮、正硅酸乙酯、高純二氧化碳、八氟環丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合氣等;
★制備高純電子氣體純化技術、電解技術、電解電源、凈化技術、高精度分析檢測技術、氣體潔凈充裝技術、高純混合氣體配制系統、電子氣體輸送系統、管道與運輸技術等。
惰性氣體、硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、含硼、磷、砷等原子的氣體,以及氟碳氣體;
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